3D MEMS技术加持！村田发布SCH16T-K20工业级高精度6DoF惯性传感器-感算商城

3D MEMS技术加持！村田发布SCH16T-K20工业级高精度6DoF惯性传感器

来源：传感器世界

发布时间：2026-08-21

随着工业设备的自动化与高性能化不断推进，对机器人、无人机、相机等的高性能需求也持续增长。尤其是在需要精细运动控制的场景中，对自定位与姿态的高精度计算，以及在图像与视频质量改良中不可或缺的抖动降低，均离不开能够同时测量三轴加速度与三轴角速度的六自由度（6DoF）惯性传感器。

株式会社村田制作所将为面向工业设备的高精度6DoF惯性传感器“SCH16T”系列新增“SCH16T-K20”。本产品可在宽温范围内的长期使用场景中，为自定位与姿态控制的稳定性提供支持。

6DoF惯性传感器的使用环境正从以往的限定场所扩展至室内外的多种场景。然而，当在宽范围温度变化及严格振动、冲击条件下传感器输出（偏移）的变化量（漂移）增大时，长时间测量会导致输出误差累积，进而向终端产品输出不准确的数据。并且，为了在故障发生前就进行防范，市场对传感器具备能够自判定错误的自诊断功能的需求也在增加。

因此，市场需要一种能够在低温到高温的宽温条件以及强振动、强冲击下仍然能稳定运行、并具备错误状态自诊断功能的6DoF惯性传感器。

对此，村田通过专有的3D MEMS技术与封装技术，开发出了本产品：可在−40～+110 °C的温度范围内稳定运行，具备较小的振动整流误差（VRE）与低噪声特性，实现高精度测量。这将有助于机器人、无人机、相机等应用中的高精度自定位与姿态估计，以及稳定控制。

主要特点

−40～+110 °C宽工作温度范围：

在−40～+85 °C范围内实现优良的偏移特性。

低噪声、低漂移的陀螺仪：

达业内较高水平。典型值：噪声密度 0.0004 (°/s)/√Hz，零偏不稳定性 0.3 °/h。

通过3D MEMS与双差分结构及封装技术实现低VRE（振动整流误差）。

配备自诊断功能，并在SCH16T系列内具备引脚/软件兼容性。

新品SCH16T-K20显著提高了陀螺仪和加速度计的性能，与本系列早期的产品K01和K10型号相比，SCH16T-K20中的新型加速度计MEMS降低了温度偏置漂移并将噪声密度降低了一半。

此外，尽管本产品系列面向工业设备，仍依据车规级质量标准（AEC-Q100）开展了相关测试(注：本产品不适用于车载用途)。并且，本产品配备与SCH16T系列通用的自诊断功能，可支持信号可靠性监测与故障检测。同时，凭借在SCH16T系列内的引脚与软件兼容性，便于进行产品替换，有助于减少设计工时。

主要参数

产品	SCH16T-K20
尺寸 (长×宽×高)	11.8×13.4×2.9mm (0.46×0.53×0.11英寸)
工作温度范围	−40～+110 °C
陀螺仪零偏不稳定性(典型值)	0.3 °/ｈ
陀螺仪噪声密度(典型值)	0.0004（dps）/√Hz
加速度计噪声密度(典型值)	33 µg/√Hz