非接触在线测量薄膜厚度
来源：Micro-Epsilon（米铱）
发布时间：2026-01-16
在薄膜生产过程中，在线工艺监控可确保产品质量的稳定。KSH 组合式传感器采用非接触测量技术，实现薄膜层厚度的无磨损检测。
薄膜（如自粘膜的胶层）的测量基于电容原理。电容位移传感器固定于金属表面（如传送辊）的上方，薄膜在通过测量间隙时会改变介电常数，从而改变传感器电容值。当薄膜材质恒定时，输出信号仅与薄膜厚度相关。
除电容位移传感器外，传感器外壳内集成有同轴布置的涡流位移传感器。测量线圈与测量电极采用同心设计，二者均以相同目标物为基准。涡流传感器监测输送辊距离的变化，补偿系统机械形变（如热膨胀、振动等）。两种测量原理的信号进行算术组合，确保厚度测量值不受距离波动的影响。
生产需进行横向轮廓检测时，需配备带横向移动装置的刚性机械结构。组合传感器可补偿机械结构的误差（如弯曲、偏心），实现 ± 1μm 的膜厚测量精度。
非接触、无磨损的测量工艺
高精度、无损检测
热膨胀、偏心误差补偿
通过横向移动实现的横向剖面扫描
可调公差限值
可扩展显示界面
测量系统的需求
测量范围: 5 / 10mm
线性度: ± 0.02%
热稳定性: ± 0.02%/°C
周围条件
工作温度：50 ~ 95°C
介质: 空气
目标: 电导体
薄膜与涂层的恒定介电特性
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