半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案
来源：OMRON（欧姆龙）
发布时间：2025-07-11
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应用介绍
【行业】SEMI
【设备】炉管
【用途】用于晶圆的批量热处理
使用场景
检测石英晶圆舟晶圆是否有突出，防止自动取片时发生异常。
场景：晶舟上wafer的突出检测
解决课题
■ 多达150片wafer时的高度检测，容易发生wafer的横向移动,需要稳定检测。
■ 因检测距离远，调试时光轴对准难度大。
价值提案
■ 1级激光光源，保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。
■ 激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改，方便远距离时光轴的调整。
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