半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案

来源:OMRON(欧姆龙)

作者:-

发布时间:2025-07-11

阅读量:0

应用介绍



【行业】SEMI

【设备】炉管

【用途】用于晶圆的批量热处理


使用场景


检测石英晶圆舟晶圆是否有突出,防止自动取片时发生异常。

场景:晶舟上wafer的突出检测

解决课题


 多达150片wafer时的高度检测,容易发生wafer的横向移动,需要稳定检测。

 因检测距离远,调试时光轴对准难度大。

价值提案


核心产品:距离设定型 E3Z-LR

 1级激光光源,保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。

 激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改,方便远距离时光轴的调整。



相关产品
E3Z-LT / LR / LL

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