研磨机wafer预载位的高精度检测方案

来源:OMRON(欧姆龙)

作者:-

发布时间:2025-07-11

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应用介绍



【行业】SEMI

【设备】wafer grinding 研磨机

【用途】线切割后的晶圆磨削


应用场景


研磨机wafer预载位的有无检测确认。

场景:清洗槽/干燥槽内检测Cassette的有无

解决课题


 不同工序时wafer衬底的粗糙度较大,尤其是抛光后的wafer作为镜面体产生的正反光非常容易影响的检测。

 需要300~500mm的远距离稳定检测,方便机械手吸取wafer。

 需要对透明wafer衬底进行检测。

价值提案


核心产品:光电 E3AS-HL500L

■ 透镜自动校准配备高精度CMOS,稳定检测各种材质wafer。


 拥有优异的角度特性,在远距离检测时能针对线切割后的wafer的粗糙面进行稳定检测。

 需要检测透明wafer时,可通过示教轻松设定高灵敏度背景。

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