明星产品 | 兰宝LVDT接触式位移传感器平整度检测的“利器”-感算商城

在日益迅猛发展的工业生产中，产品表面的平整度是衡量产品质量的重要指标之一。平整度检测广泛应用于各个行业，如电子行业中电池或手机外壳的平面度检测、半导体行业中液晶面板的平面度检测等。

在传统的平整度检测中存在效率低、精度差等问题，而LVDT（线性可变差动变压器）传感器以其高精度、高可靠性、无摩擦测量等优点，在物体平整度检测中得到了广泛应用。

工作原理

LVDT是一种电磁感应式传感器，其工作原理基于法拉第电磁感应定律。LVDT由一个初级线圈和两个次级线圈组成，线圈缠绕在一个铁芯上。当铁芯位于中心位置时，两个次级线圈的输出电压相等，相位相反，抵消后输出电压为零。

当铁芯沿轴向移动时，两个次级线圈的输出电压发生变化，差值与铁芯的位移成线性关系。通过测量输出电压的变化，可以精确地测量铁芯的位移。

LVDT外壳通常采用不锈钢保护套，中间包裹具有高磁导率的磁屏蔽层以及防潮层，可在强磁场、大电流、潮湿、粉尘等恶劣环境下使用，部分工业级LVDT采用特种材料（如陶瓷密封或哈氏合金外壳），可在250°C高温或1000bar高压环境下工作。

主要特点

01.无摩擦测量

在使用过程中，铁芯和线圈之间没有机械接触，因此LVDT不存在蹭擦、拖曳或其他摩擦途径。

02.机械寿命无限长

由于铁芯和线圈之间通常没有接触，因此LVDT没有部件会相互摩擦或磨损。

03.无限的分辨率

无限的分辨率理论上具有无限分辨率，实际分辨率可达微米甚至纳米级，具体取决于信号调理电路的性能。在无摩擦结构中根据电磁耦合原则操作，LVDT可以测量铁芯位置极小的变化。

04.零位可重复性

LVDT固有零点位置非常稳定且可重复，即使超过其很宽的工作温度范围也是一样的。

05.轴向抑制

LVDT对于铁芯的轴向运动非常敏感，径向运动相对迟钝，这样LVDT可以用于测量不是按照精准直线运动的铁芯。

06.快速动态响应

由于常规操作过程中不存在摩擦，因此LVDT可以很快地响应铁芯位置的变化。

07.绝对输出

LVDT输出为与位置直接相关的模拟信号，如果发生断电，无需重新校准即可恢复测量（断电后需重新上电才能获取当前位移值）。

LVDT常见【平整度检测】应用

01.工件表面平整度检测

通过将LVDT探头接触工件表面，可以测量工件表面的高度变化，从而评估其平整度。

02.板材平整度检测

在板材生产过程中，通过阵列式LVDT布局，配合自动化扫描机构，可实现大尺寸板材的全表面平整度映射。

03.晶圆平整度检测

在半导体行业中，晶圆的平整度对芯片的性能有重要影响。LVDT可以用于精确测量晶圆表面的平整度。（注意：在晶圆平整度检测中，LVDT需配合轻量化探头和低接触力设计，适用于对表面无损伤要求的场景。）

兰宝LVDT接触式位移传感器

◆ 微米级重复精度；

◆ 5-20mm多量程可选；

◆ 输出方式全面，开关量，模拟量，RS485可选；

◆ 低至3N的感应头压力，无论金属还是玻璃表面都可以无磨损检测；

◆ 外形尺寸丰富，满足各种应用空间。

搜索历史全部清除