云际芯光联合天津大学实现MEMS技术自主，突破高端传感器瓶颈

据麦姆斯咨询报道，近期，云际芯光（珠海）微电子有限公司（简称：云际芯光）自主建设的珠海首条6英寸MEMS芯片生产线正式投产。这条MEMS产线不只是一条制造线，更是一座涵盖研发、中试与规模生产的综合工艺平台，包含百级和千级车间，配备光刻、薄膜、刻蚀、键合、后道及测试等关键设备，总投资超过2.5亿元。

云际芯光是国内少数同时具备MEMS芯片设计、制造与微系统集成能力的IDM企业，自2023年扎根珠海以来，始终坚持以科技创新为引领，深耕压电MEMS芯片领域，汇聚顶尖人才，已组建40多人的研发团队，其中博士、硕士占比超过80%，与天津大学等知名高校产学研互动、深度协同，覆盖从材料、设计、工艺、制造到封测的全链条技术环节。

校企联动，构建MEMS研发闭环

云际芯光与天津大学深度合作，成立联合研究中心，并建成一条功能完备的MEMS工艺线。该工艺线配备了光刻及硅片键合机、掺杂扩散炉、湿法刻蚀设备、金属溅镀机、压电薄膜沉积设备及离子束刻蚀机等先进仪器。

这一产学研MEMS平台不仅支撑前沿技术攻关，也为产品快速迭代与小批量验证提供了可能，形成了从基础研究到工艺开发再到产品落地的完整闭环。

“云际芯光不少核心工艺，都是在与天津大学的联合研发中逐步成熟并导入产线的。”公司董事长王庆初表示，这种深度绑定机制，使云际芯光能在高端MEMS传感器与频率器件领域持续积累自主知识产权（IP）。目前，公司已提交30余项专利申请，其中已获授权8项。

技术自主，量产多款压电MEMS产品

MEMS即微机电系统，是在微米到毫米尺度上，融合机械结构与电子电路的集成化芯片或系统。它依托集成电路工艺，结合特殊加工技术，实现大批量、低成本制造，在极小尺寸内完成传感、制动与控制功能。

“MEMS技术是推动现代电子设备小型化、智能化的关键。”云际芯光董事长王庆初向记者介绍，正是这项技术，使得传感器的体积得以缩小数百倍，成本大幅降低，同时性能更稳定、功能更智能。

据了解，云际芯光公司当前核心产品包括SMR固态装配声波滤波器，其工作频率覆盖1GHz至8.5GHz，具备抗冲击、高温度稳定性和高功率承载力，已应用于低轨卫星、北斗导航、5G通信等领域；QMEMS高基频石英振荡器，频率可达70MHz–300MHz，具备高频稳定、低相位噪声特性，服务于5G基站、光通信和汽车电子；以及PMUT水听器，自研IPP芯片架构，小尺寸、低功耗、防水防尘防污，水声通信、管道测漏、领海监测等为其主要应用方向。

国产替代，突破高端传感器瓶颈

在当前全球供应链重构与国产化替代加速的背景下，MEMS芯片作为通信、航空航天、医疗设备、工业控制等领域的基础核心器件，其自主可控具有重要意义。

云际芯光生产的MEMS芯片及微系统，主要面向无线通信系统、高端测量仪器与专业传感装备，目标是为关键行业提供性能可靠、供应安全的国产化芯片解决方案。

除了滤波器和振荡器，云际芯光目前突破了多款高端传感器芯片的技术瓶颈并实现了量产交付。并可依据客户需求，提供定制化设计与生产服务。云际芯光打造的产品矩阵，技术指标全面对标国际一流厂商，充分彰显了云际芯光的雄厚实力与远大志向。而随着6英寸MEMS产线全面运转，云际芯光的产能和产品交付能力将进一步提升，有望在物联网终端、卫星载荷、工业传感等市场扩大份额。

产业集聚，助力湾区MEMS生态

近年来，金湾区持续发力集成电路产业，逐步形成设计、制造、封装、测试及材料装备协同发展的产业格局。云际芯光6英寸MEMS生产线的投产，填补了珠海市在MEMS芯片制造领域的空白，也为大湾区集成电路产业链补上了关键一环。

“云际芯光看好珠海和金湾的产业环境与政策支持。”公司董事长王庆初表示，未来将继续加大研发投入，围绕“传感+通信+频率”三大方向，进一步拓展产品矩阵，推动MEMS芯片在更多新兴领域的创新应用。

随着该生产线产能逐步释放，云际芯光计划在3年内将团队规模扩大至100人以上，年产能提升至2万片规模，力争成为国内MEMS领域具有系统级交付能力的头部企业之一。

云际芯光6英寸MEMS芯片生产线的顺利投产，不仅标志着云际芯光公司实现了从研发、设计、仿真到制造的产业链闭环，大幅提升了公司的市场响应速度与产品交付能力，为公司未来的高速发展、引领市场奠定了坚实的制造根基；更为重要的是，云际芯光MEMS芯片生产线建成通线，填补了珠海市集成电路产业在关键制造环节的空白，在芯片设计、封装测试等环节之外，补上了芯片制造这一关键环，形成了更趋完整的产业生态。