ALD镀膜设备上的龙门控制方案-感算商城

ALD镀膜设备上的龙门控制方案

来源：OMRON(欧姆龙)

发布时间：2026-09-28

设备概况

该ALD镀膜设备由4个炉管、龙门上下料结构、冷却与缓存料架组成，龙门上下料负责将石英轴放入ALD炉管中，在ALD炉管内通过特定的温度通入工艺气体，一段时间后取出，在缓存料架中冷却，冷却完成后该工艺完成。

课题

■ PLC如何保证龙门机构运行的平稳度？

■ 如何保证龙门回原正常？

解决方案

PLC电子齿轮+扭矩平衡补偿技术：

建立主虚轴，使用电子齿轮功能块将两轴进行同步，并实时计算两轴的扭矩差值，根据差值调节齿轮比，来平和两轴的扭矩，防止出现扭矩不平衡导致机构变形和损伤。由于龙门刚性较大，调整幅度不宜过大，并且不使用PID进行调节，也减少了调试时间，但需要注意补偿的方向。

系统配置

使用PLC控制伺服同步完成龙门功能。

实现价值

经营层：协同推进ALD设备性能优化与成本精益管理，支持客户产品竞争力可持续发展。

业务层：降低高精度定位系统对高端伺服硬件的依赖性，重构运动控制成本模型。

现场层：龙门机构点动、定位及回原功能运行平稳，动作流畅不卡顿。

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