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单片清洗机中晶圆的平整检测方案

来源：OMRON（欧姆龙）

发布时间：2026-03-09

应用介绍

【行业】半导体

【设备】刻蚀机/清洗机

应用场景

单片清洗机中晶圆的平整检测。

解决课题

■ 清洗液具有腐蚀性，传感器需要具备耐腐蚀和防水的功能。

■ 在部分易燃易爆气体等环境中，传感器需要适应防爆需求。

■ 在特定清洗工艺中，因清洗剂成分具有光敏感性，无法直接使用光电传感器。

价值提案

核心产品

光纤传感器 E3NX-FA

光纤单元 E32-T12F

■ 光纤头E32-T12F配有氟树脂全涂层，实现耐腐蚀、防水的双重工业级防护。

■ 光纤头只是传导光的介质，不含电气回路，可以安全地应用于防爆环境要求。

■ E3NX-FA可以在特定时间段内将LED光关闭，避免对清洗工艺产生影响。

■ 备有S-TUNE智能调谐设定，两键自动设定光量和阈值，减小对射光纤安装的同心度误差。

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