清洗机液位智能监测的低成本快速部署方案

来源:OMRON(欧姆龙)

作者:-

发布时间:2025-11-17

【行业】电子

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等


应用场景


通过侧窗玻璃导管显示液位的情况,并对液位进行限制。

场景1.清洗机


场景2.CDS供液


解决课题


■ 按照生产要求,需要快速部署至少四个液位位置的判定。

■ 需要对成本进行控制。

价值提案


核心产品 液位传感器 EE-SPX613

 小型卡管式安装,省空间。方便安装,快速部署,输出动作可以通过拨码切换开关一键切换。

■ 性价比高,有效控制成本。

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