基于光谱共焦原理,深视智能光谱共焦位移传感器可生成12μm光斑,搭配16mm工作距离与4mm测量范围,覆盖不同规格水冷板覆膜厚度变化区间,甚至可检测130μm透明膜层厚度变化,准确捕捉波谷位置(膜厚关键管控区域)的细微数据。
图 | 左:水冷板波谷测量点位 右:水冷板膜厚度测量数据
在240mm/s模拟产线速度下,深视智能光谱共焦位移传感器对同一水冷板进行10次静态测量,覆膜厚度重复性最大偏差仅为0.6μm,远优于3μm的精度要求。
图 | 水冷板覆膜厚度测量数据表
*注:上述数据基于实验室标准测试环境所得,实际应用中可根据产线条件微调,确保偏差仍控制在需求范围内。