堡盟 UR18 系列 | 电子半导体晶圆清洗槽液位检测的优选方案

来源:Baumer(堡盟)

发布时间:2026-06-05

在电子半导体高端制造流程中,晶圆清洗是提升晶圆良率的关键工序,而清洗槽液位的精准检测与把控,更是维系这一工序稳定性的核心环节。液位的细微偏差,不仅会直接影响清洗效果,更可能造成晶圆损坏,进而影响整条产线的生产效率与产品品质。


堡盟(Baumer)深耕工业传感领域多年,精准把握电子半导体行业的实际应用需求,量身打造 UR18 系列超声波传感器解决方案,完美适配晶圆上下料设备的清洗槽液位检测场景,以专业传感技术破解行业检测难题,成为该应用场景的优选方案。


行业检测痛点突出

传统方案难达要求


当前电子半导体行业的晶圆清洗槽液位检测环节,传统检测方案仍存在诸多难以规避的痛点,成为制约生产的关键问题。


  • 其一,检测易受环境干扰,清洗过程中产生的液体气泡、液面波动,极易导致传统检测设备精度不足,出现液位误判,直接影响清洗工艺稳定性;

  • 其二,设备适配性差,不同产线、不同工艺的晶圆清洗槽规格多样,传统检测设备无灵活调节设计,需频繁更换型号,不仅增加设备采购成本,更降低产线运维效率;

  • 其三,性价比失衡,部分能满足精度要求的检测产品价格居高不下,而平价产品又难以达到工业级检测标准,行业客户难以兼顾性能需求与成本控制。



UR18 系列三大优势

直击核心检测需求


专为电子半导体行业晶圆上下料设备设计的堡盟 UR18系列超声波传感器,凭借三大核心优势,精准解决行业痛点,成为电子半导体客户的优选。

01


远距检测且精度出众,采用非接触式超声波检测原理,完全摆脱清洗液气泡、液面波动的干扰,既能满足清洗槽的安装空间要求实现远距离检测,又能精准捕捉液位细微变化,为清洗工艺筑牢稳定防线。

02


可变声锥设计灵活适配,可根据不同清洗槽大小自由调节声束角,一台设备即可适配多种规格清洗槽,无需频繁换型,大幅提升设备适配性与产线效率。

03


高性价比兼顾品质与成本,传感器采用坚固结构设计,可耐受电子半导体车间的严苛生产环境,降低设备故障率与后期运维成本,让客户以更优成本获得瑞士品质的专业传感体验。



多产品组合拳

覆盖晶圆加工关键工序


堡盟为电子半导体行业的赋能,并非局限于晶圆清洗槽液位检测单一应用场景,更依托丰富的产品矩阵,打造一站式传感解决方案,形成产品组合拳全面覆盖晶圆加工关键工序。其中:


  • IFFM 08 可实现晶圆加工过程中的精准定位检测,为晶圆上下料、传输等环节提供可靠的位置反馈;


  • OM20/30 则精准适配晶圆高度检测需求,以高精度测量保障各工序的位置控制。

从液位检测到定位、高度检测,堡盟多系列产品协同发力,助力行业客户充分挖掘生产潜力,实现产线效率全方位升级。



全球技术 + 本土落地

赋能半导体产业发展


作为全球领先的工业传感专家,堡盟始终秉持 “全球技术 + 本土落地” 的核心理念,深耕中国市场,精准把握电子半导体产业核心区域的客户需求。



针对晶圆加工的各类检测需求,堡盟从产品精准选型到应用方案定制化设计,专业技术团队全程跟进,为行业客户提供全周期技术支持,确保产品性能在实际应用中最大化发挥。

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