奥松电子气体质量流量控制器该如何选择?

来源:奥松电子

作者:-

发布时间:2024-10-10

阅读量:7

奥松电子在MEMS智能领域深耕20余年,持续为客户提供品质优良的产品,并不断进行技术创新,采用自主研发的MEMS质量流量芯片,开发了一系列产品。这些MFC产品对于、光伏、高端装备制造、等工艺精密和环境敏感的领域来说,产品自身的灵敏度、精确度及优良的性能起着至关重要的作用。

 

AS200

流量范围覆盖多个量程,从100SCCM到300SLM(可定制),能适应多种场景需求

可同时支持数字信号,1~5V或4~20mA模拟信号,方便客户选择

使用双电源(±15 VDC)或单电源(+15~+28 VDC)

支持自动故障报警,多气体多量程

精度高达±1%

免费提供上位机软件

1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率,气密性好,保障生产安全

奥松电子气体质量流量控制器该如何选择?1

 

AMC2000气体流量控制器

量程从100SCCM到5SLM,可定制

重复性好,稳定可靠

支持多种气体监测测量控制

标准Modbus-RTU通信

质量流量与温度集成测量监测控制

更换了底座结构,优化了流道设计,使流量更加稳定

搭载了LED数码管进行读数显示,并对控制状态一目了然。

加载了按键操作,设置相关参数,简单便捷。

奥松电子气体质量流量控制器该如何选择?2

 

选购指南

奥松电子气体质量流量控制器该如何选择?3

适用场景不同

AS200适用于多种常规气体、混合气体及腐蚀性气体,量程规格很多,精度高,可以用于对气体质量流量的精密控制和测量,非常适用于集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备;其他行业设备,如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。

 

AMC2000是针对微小气体流量的测量与控制,可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、、食品、医药等行业的质量流量控制监测。

 

客户可根据自己应用的实际场景选择合适的量程范围和精度的产品。

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