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2025年国产MEMS制造核心企业盘点

来源：智能传感器网

发布时间：2026-01-12

迈向2026年，中国MEMS制造能力正成为塑造产业格局的关键。在消费电子、汽车智能化与前沿创新领域，一批兼具特色工艺、规模量产与高端研发能力的企业已成长为中坚力量，共同推动感知世界的国产化进程。以下将介绍其中具有代表性的十家企业（按中文名称拼音首字母顺序排列）。

1

上海

华虹宏力（688347.SH）

依托强大的8英寸特色工艺平台，华虹宏力在在压力、硅麦等 MEMS 基础工艺方面具备长期工艺积累。其“特色工艺+先进制造”模式，结合高可靠性、高集成度优势，服务于消费电子、工业及医疗等多个领域，是国内重要的MEMS规模化量产基地。

2

江苏无锡

华润微（688396.SH）

作为国内领先的IDM企业，华润微拥有6英寸和8英寸MEMS产线，工艺涵盖压力、麦克风、光电等传感器。其制造能力结合自有产品与代工服务，在消费电子、智能家居领域出货量居前，产业链整合能力与规模优势突出。

3

上海

积塔半导体

专注于特色工艺，积塔半导体的MEMS产线聚焦于汽车电子、工业控制等高端领域。其工艺涵盖压力、惯性、硅麦克风等，并具备车规级制造与可靠性认证能力，是国产车用MEMS传感器制造的重要平台，在工控和汽车电子领域优势明显。

4

北京

赛微电子（300456.SZ）

通过收购瑞典Silex，赛微电子掌握了国际一流的纯MEMS代工技术。在完成对Silex控制权的转让后，公司战略重心已全面聚焦于本土的北京8英寸MEMS产线。该产线定位高端，工艺覆盖硅麦克风、微镜、光MEMS等，目前已实现1.5万片/月的产能，并计划分阶段扩充至3万片/月，是国内专注于纯MEMS代工的领军企业，正着力深化本土高端制造能力。

5

浙江绍兴

芯联集成（688469.SH）

芯联集成在MEMS和功率器件领域深耕多年。其具备8英寸MEMS代工能力，覆盖惯性、压力、部分射频与光电结构工艺，是国内少数具备规模化MEMS代工经验的平台型厂商之一。凭借在特色模组集成方面的独特技术和快速产业化能力，正迅速成长为国内MEMS代工领域的中坚力量，在消费电子和汽车市场增长迅猛。

6

上海

上海工研院

作为国家级研发平台，其8英寸MEMS中试线专注于90nm及以上工艺的研发与转化。不追求规模量产，而是聚焦前沿技术（如光学MEMS、生物MEMS）的工艺开发与中小批量流片，是国产MEMS技术创新的核心孵化器和共性技术支撑平台。

7

浙江杭州

士兰微（600460.SH）

作为国内IDM模式代表，士兰微从设计到制造全链条布局MEMS传感器。其8英寸MEMS产线专注于惯性、压力、麦克风等器件，工艺成熟且与自身产品深度协同，在消费电子、汽车电子领域出货领先，具备强大的自主可控与快速迭代能力。

8

湖北武汉

武汉敏声

专注于BAW滤波器等射频MEMS的IDM企业，自建8英寸产线并具备工艺自主知识产权。在5G射频前端国产化替代进程中地位关键，其产线兼具研发与中试能力，技术壁垒高，是国内射频MEMS领域自主创新的代表企业之一。

9

广东广州

增芯科技

定位国内领先的12英寸MEMS产线，工艺节点覆盖55nm及以上，规划月产能达2万片。专注于高端MEMS传感器和集成器件制造，其大尺寸晶圆、先进制程能力有助于提升性能与成本优势，是未来高端MEMS国产化的重要增量产能来源。

10

浙江宁波

中芯宁波

专注于高压模拟、射频和MEMS特种工艺的晶圆代工。其MEMS技术布局于高附加值的汽车电子、工业控制等领域，工艺特色鲜明。凭借来自母公司的技术与管理加持，在工艺稳定性和可靠性方面具备优势。随着汽车智能化和电动化趋势，其在相关MEMS传感器的制造领域增长潜力巨大。

结语：

以上信息根据公开资料整理，旨在呈现产业概貌。囿于信息时效与编者识见，难免存在疏漏或偏颇之处，敬请业界同仁与各位读者不吝指正、补充。

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