全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产，解决智能传感器核心问题-感算商城

全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产，解决智能传感器核心问题

来源：MEMS

发布时间：2025-05-29

在近日开幕的第七届智能传感器产业发展大会上，安徽华鑫微纳集成电路有限公司发布：8英寸晶圆生产线首批产品成功串线，这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在安徽蚌埠正式投产。

安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理丁敬秀：“今天我们8英寸生产线的第一个全流程产品，正式串线成功，它标志着我们这条产线的系统设备、质量等等，都已经达到一个相对比较完善的水平。”

华鑫微纳主要从事MEMS晶圆制造，可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等，主要应用于高端装备、汽车电子等领域。该项目是全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线。全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。

东南大学首席教授、中国兵器工业集团特聘首席科学家宋爱国：“8英寸的MEMS晶圆是很多传感器，比方说像这种压力传感器，是最基础的材料和部件。所以，它的建成，特别是产业化这一块以及技术进步这块，意义是非常大的。”

8英寸MEMS晶圆生产线项目是国家集成电路生产力布局的重大项目，也是国家发改委、国资委、工信部、安徽省关注的重大工程项目，2024年被列入国家重点工程。

中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长郭源生：“作为敏感技术与传感器行业里面，能有这么一条完整的MEMS生产线，无疑是对传感器产业化的发展起到了积极的支撑作用。国内26000多个品种，有7000个常用的，我们缺乏的都是共性的工艺支撑。比方说我们的大多数芯片，67%的低端的都要依赖进口，高端的100%都要依赖进口。那么有了这条8英寸的生产线，无疑是对传感器产业链的构架和产业的格局，打破过去的这种产业格局，都是有积极的作用的。”