歌尔微电子凭自主知识产权的“高性能传感器及其集成式传感器”项目荣获山东省科技进步一等奖

来源:歌尔微电子

作者:-

发布时间:2021-8-28

阅读量:6

3月14日,山东省政府发布《关于2018年度山东省科学技术奖励的决定》,歌尔微电子拥有自主知识产权的“高性能及其集成式关键技术研发及产业化”项目荣获山东省科技进步一等奖。

 

“高性能传感器及其集成式传感器”项目,立足于解决核心芯片设计和关键制造技术滞后等国内行业共性关键问题,突破了兼容CMOS工艺的MEMS芯片设计关键技术,解决了 CMOS-MEMS 兼容制造难题,独创性地开发了低功耗高精度压力ASIC芯片、高灵敏度低噪音的高性能MEMS压。设计了基于PCB的SIP的超小型、薄型化的高可靠性组合传感器封装结构设计,填补了跨环境和声学领域集成传感器空白,研究成果成功应用于国内外智能穿戴、航模等领域。

 

歌尔从2004年开始布局MEMS领域,一直以来坚持自主创新,拥有MEMS领域专利超过1500项,其中发明专利500项、国外专利200项,实现产品市场占有率全球领先。

 

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