UTG超薄柔性玻璃厚度测量，纳米级精度如何实现？-感算商城

前言

近年来，折叠屏手机已成为智能手机市场为数不多的高增长赛道。伴随折叠屏市场规模的持续扩大，其核心盖板材料UTG（Ultra Thin Glass，超薄柔性玻璃）的渗透率也在快速提升。

UTG之所以成为折叠屏盖板的主流选择，核心在于其兼具柔性与刚性：厚度小于100微米，却拥有耐磨、耐高温、高强度、高透光等优异特性，是当前平衡“可弯折”与“抗刮擦”的最佳材料方案。

UTG的测厚难题

如何实时精准测量减薄厚度

UTG通常由常规厚度玻璃（≥0.4mm）通过化学蚀刻（Slimming）减薄至100μm以下，甚至20μm级别，并经过切割与强化处理形成最终产品。在这一制程中，实时精准测量减薄厚度，是决定产品良率的核心控制点。

然而，UTG的厚度测量面临诸多技术挑战：

测量精度要求极高

UTG最终厚度常在30~100微米量级，工艺过程要求重复精度达到纳米级别，传统接触式测厚仪难以胜任。

在线测量的严苛环境

化学减薄槽内存在温度波动等复杂工况，测量传感器需具备抗干扰、非接触测量等特性。

透明材料的“看不见”难题

UTG是高度透明材料，对激光等常规光学测量的反射信号极弱，传统传感器易产生信号丢失或数据漂移，测量稳定性大打折扣。

产线节拍的高速要求

量产线对测量速度有严格限制，要求传感器在毫秒级完成数据采集与输出，以匹配流水线节奏。

因此，UTG减薄工艺亟需一种非接触、纳米级精度、可穿透透明介质、响应快速、抗干扰能力强的厚度在线测量方案。

创视智能白光干涉传感器

精准适配UTG测厚核心需求

创视智能TS-IV系列基于干涉原理：

入射光在待测膜层的上表面与下表面分别发生反射，两路反射光发生干涉形成干涉条纹。
条纹的数量与分布间距同膜层厚度之间存在严格的对应关系。
通过光谱仪精确探测与分析此类干涉条纹，即可计算出膜层的精确厚度。

创视智能深耕精密测量领域，TS-IV系列凭借以下核心优势，为UTG产线提供国产化可靠方案：

超高精度

重复精度1nm，线性误差<±20nm，精准捕捉UTG减薄过程中微米级乃至纳米级的厚度波动，为工艺闭环控制提供可信数据。

宽量程覆盖

多型号产品，分别支持1~50μm、2~100μm（折射率1.5时）厚度测量范围，覆盖UTG从减薄初期到成品的全阶段。

高速响应

最高10kHz采样频率，毫秒级数据输出，完美匹配产线节拍，实现UTG减薄过程的实时在线全检。

透明介质适配

直接解析干涉光谱，不依赖反射强度；采用宽波段光谱光源，信息量丰富，在较大工作距离下依然保持高精度。

UTG为高透光玻璃，常规传感器信号极易丢失，TS-IV系列从原理上解决“看不见”难题，即使探头远离目标也能稳定测量，尤其适用于薄层、平板玻璃及薄膜等光学非致密物体。

“零热漂移”设计

分离式探头设计，彻底解决设备自身发热导致的基准面变形问题。

UTG减薄产线需24/7连续运行，传统一体式传感器长时间工作后热漂移显著，数据逐渐失真。TS-IV系列从结构上消除热影响，确保长期在线监测的稳定可靠。

极致紧凑

微型化纯光学探头，两种尺寸可选，探头外径*长度分别为Φ20*77.7mm（含光纤座长度）、Φ6.35*3200mm（包含探头和铠甲线长度），可轻松集成于各类设备的狭小空间内，实现原位测量，不干扰原有工艺布局。

工业现场无惧干扰

光纤传输信号，抗电磁干扰。UTG减薄车间存在电机、加热、泵阀等强电磁干扰源，光纤传输保障信号纯净与测量精度，数据传输更稳定。

赋能UTG产线

实时全检，助力良率提升

引入TS-IV系列白光干涉传感器后，UTG产线可实现：

✅ 减薄过程厚度实时监控：在线获取每一片UTG的真实厚度数据，及时反馈调整工艺参数，杜绝厚度超差。

✅ 大幅提升良率：从传统离线抽检升级为在线全检，提前拦截不合格品，减少后道工序浪费。

✅ 工艺优化数据支撑：积累完整的厚度分布数据，为化学蚀刻配方、蚀刻时间的优化提供精准量化依据。

✅ 满足规模化量产需求：高速响应与稳定输出，可轻松集成至自动化产线，适配24/7连续生产。

创视智能 · 精密测量专家

从“经验控制”到“数据控制”，创视智能TS-IV系列白光干涉薄膜测厚传感器，以纳米级精度与工业级稳定性为UTG减薄工艺提供了真正可靠的在线厚度测量方案。

此外，该系列产品同样适用于PCB保形涂层测厚、PET多层膜材测厚等透明/半透明薄膜的厚度测量场景，覆盖多类精密制程。

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