来源:海伯森技术
发布时间:2025-12-15
测量膜厚是现代工业和科研中的一项关键质量控制手段,它通过精确监控涂层或薄膜的厚度,直接确保产品在光学、电学、机械防护等方面的预期性能(如手机屏幕透光性、芯片运行稳定性、汽车漆面防腐性),同时能有效控制生产成本、节约原材料,并保证大规模生产的产品一致性与可靠性,是从研发到制造过程中不可或缺的重要环节。理论说得再透彻,不如让我们看一个海伯森点光谱在实际测厚应用的案例。

根据客户提供的测试需求,利用我们的点光谱进行样品镀膜厚度的测量。
检测原理






测试方法
在室内进行测试,确保室温正常
搭建好测试平台,保证测试设备的正常运行
镀膜为不透明材质,载物平台暂无触发式滑台,因此采用取点测量方式,通过测量高低差的方式,间接得到镀膜的厚度
测量镀膜位置1及实测值
测量基面位置1及实测值
测量镀膜位置2及实测值
测量基面位置2及实测值
测量镀膜位置3及实测值
测量基面位置3及实测值
圆形样品测试结果
测量位置 |
基面实际值(mm) |
镀膜位实测值(mm) |
高度差 (mm) |
位置1 |
0.4840 |
0.4991 |
0.0151 |
位置2 |
0.4854 |
0.4999 |
0.0145 |
位置3 |
0.4844 |
0.5015 |
0.0171 |
平均高度差 |
0.0156 |
长形样品测试过程
测量镀膜宽边1及实测值
测量基面1及实测值
测量镀膜窄边1及实测值
同理选择多组不同位置进行实测
长形样品测试结果
测量位置 |
基面实测值 |
镀膜宽边实测值(mm) |
镀膜宽边位置高度差(mm) |
镀膜窄边实测值(mm) |
镀膜窄边位置高度差(mm) |
位置1 |
0.2896 |
0.3090 |
0.0194 |
0.3152 |
0.0256 |
位置2 |
0.1912 |
0.3081 |
0.0169 |
0.3160 |
0.0248 |
位置3 |
0.1910 |
0.3089 |
0.0179 |
0.3164 |
0.0254 |
平均高度差 |
0.017975 |
0.024825 |
1. 经过测量,圆形样品的镀膜厚度为0.0156mm,长形样品的宽边镀膜厚度为0.018mm,窄边镀膜厚度为0.0248mm
2.在实际测量中建议使用伺服控制载物移动平台,可以减小因测量轨迹变化和样品本身的翘曲度带来的测量误差