堡盟 U300 超声波传感器，20mm 盲区控制，精准适配光刻机晶圆检测
来源：Baumer(堡盟)
发布时间：2025-10-11
在半导体制造中，光刻机负责将电路图案刻在晶圆上，而晶圆在工序中传输时，精准定位与精确计数是流程的关键。研发手动光刻机时，厂商面临多重挑战，晶圆存于传输盒需逐层拾取，要确保每层单张避免叠加。设备底部安装空间狭小，底层晶圆距传感器仅约 20 毫米，常规传感器因盲区无法检测。同时，还需在保证检测精度与成本的同时，实现数据实时采集和设备预防性维护，以保障光刻机稳定高效运行。
堡盟U300：小身材大能量的破局之道
核心应用场景：晶圆蛋糕盒的 “智能慧眼”
为什么选择堡盟？三大优势直击痛点
一体式紧凑外壳，盲区仅 15mm(市场同类产品难以达到)，完美适配 20mm 近距检测场景；
底部安装不占用额外空间，契合手动光刻机的结构限制。
感应距离15-500mm可调，适配不同规格晶圆蛋糕盒；
0-10V模拟量输出，兼具经济型价格与稳定性能，适配研发及小批量生产需求。
集成IO-LINK接口，实时采集过程数据与诊断信息;
搭配堡盟免费BSS软件，实现预防性维护，降低停机风险。
U300亮点解析：技术细节见真章
U300超声波传感器具备多项核心优势，在技术上有诸多亮点。
支持声锥可调，拥有深锥、中等、宽锥三种模式，能够适配不同尺寸晶圆的检测需求，抗干扰能力强。
传感器集成了动态平均与干扰滤波器，可减少环境噪声影响，使测量更加稳定。其内置数据处理功能，能减轻PLC计算负担，提升系统响应效率。
此外，500mm的测量范围为同类产品中最大，可适应多样化产线设计。
堡盟U300解决了我们长期困扰的安装空间与检测精度矛盾，尤其是盲区控制和IO-LINK功能，既满足了当下研发需求，也为未来产线升级打下了基础。性价比远超预期!
——行业客户
用 “感知” 驱动半导体未来
在半导体制造向纳米级精度迈进的今天，传感器作为 “工业神经” 的作用愈发关键。堡盟U300以毫米级的检测精度、灵活的适配能力，成为光刻机晶圆传输环节的 “隐形守护者”，为中国半导体研发与生产注入精密动力。
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