霍尼韦尔HPT系列高纯压力传感器：以钢铁之躯，守护半导体工艺特气供应 “生命线”​​

在半导体晶圆生产工艺中里，

在包括刻蚀、离子注入、薄膜沉积等环节

都涉及到特殊气体的应用，这些超纯、高腐蚀性、甚至剧毒的特种气体（如SiH₄, PH₃, AsH₃, ClF₃），其精确的供应与控制，直接关乎良率、安全与产能。在特气供应系统中，压力传感器扮演着至关重要的“哨兵”与“指挥官”角色。

半导体前道特气供应系统（气柜、VMB/VMP阀箱、工艺腔入口、尾气处理等）对压力测量提出了近乎苛刻的要求：

 1.零污染是铁律

任何微量金属离子析出、颗粒释放或有机物污染，都可能导致晶圆良率灾难。接触气体的部件必须极致纯净并且能稳定应对腐蚀性气体。

 2.耐腐蚀需求

特气的“脾气”不容小觑。 高腐蚀性气体（如HF、ClF₃）会迅速侵蚀普通材料，导致传感器失效甚至泄漏风险。

 3.快速响应

气体流量的瞬间波动会直接影响刻蚀均匀性或沉积速率，要求传感器能迅速捕捉并快速反馈压力变化。

 4.抗电磁干扰

工厂内复杂的电磁环境（变频器、RF电源、无线设备），传感器需要优异的抗干扰能力，以稳定输出。

 5.安全冗余

半导体工艺中涉及众多有毒/易燃气体，其外泄对设备及人员安全会造成严重后果。

 6.长期服役稳定性

减少校准频率，保障持续可靠运行，降低维护成本。

二、霍尼韦尔HPT系列：

为特气系统定制的“钢铁之躯”

面对这些严苛挑战，霍尼韦尔HPT系列压力传感器凭借其核心技术，成为特气系统值得信赖的选择：

 316L VIM-VAR不锈钢材质

霍尼韦尔HPT压力传感器的整个压力端口和关键膜片均采用316L VIM-VAR 级不锈钢。这不仅是“不锈钢”，更是经过特殊熔炼工艺处理的超高纯度、极致致密、耐腐蚀性顶尖的材料。它能有效抵抗大多数特气的侵蚀，从根源上杜绝金属离子污染风险，保障气体纯净度。这是满足特气系统超纯要求的硬件基石。

 毫秒洞察力，极速响应 (<2ms)

在VMB/VMP阀箱进行多支路气体分配、或在工艺腔入口调节流量时，压力微小的瞬间变化都至关重要。HPT系列小于2ms的典型响应时间，能瞬间捕捉压力波动，为控制系统提供实时、精准的反馈，确保气体流量稳定如一，守护关键工艺的稳定性。

重工业级EMC防护：

HPT系列通过了严苛的EMC测试，达到重工业应用等级。在充斥着变频器、大功率RF源和无线设备的Fab厂环境中，HPT系列能稳定可靠地工作，输出信号不受干扰，避免因电磁干扰导致的误报警或控制失效，保障系统连续运行。

 极低氦漏率 (<1x10⁻⁹ mbar·l/s)

SEMI F1 是半导体行业中针对高纯气体输送系统的核心标准，其核心是通过严格的泄漏测试，防止气体泄漏导致的工艺污染、设备损坏或安全事故，确保气体传输的稳定性和纯度。HPT的极低泄漏设计，满足SEMI F1标准，为特气柜、VMB/VMP箱体和管路提供了关键的安全屏障，降低特气泄漏风险，保护人员和环境安全。

 经久耐用，长期可靠运行：

良好的长期稳定性（具体数据需参考详细规格书或咨询霍尼韦尔），结合高精度（±0.5%FSS）和优秀的温度补偿（零点温漂≤0.1%量程/10K，量程温漂≤0.15%量程/10K），确保了在宽工作温度范围（-20℃至85℃）内的测量准确性。减少了校准和维护频率，提升了系统正常运行时间，降低了晶圆厂的综合运营成本。百万次压力循环寿命测试确保其耐用性。

 标准接口，便捷集成：

霍尼韦尔HPT压力传感器采用1/4 VCR螺纹标准接口。VCR（Vacuum Coupling Radial）是半导体高纯气体系统的行业标准接口，具有超高密封性和极低的渗透率，完美匹配特气系统的管路连接要求，确保连接点的纯净与可靠。

50余年半导体行业沉淀

在半导体领域，霍尼韦尔拥有超过 50 余年深厚积淀，持续提供行业领先的气体检测技术，涵盖化学纸带产品线、电化学产品线及 FTIR技术与设备，同时为半导体行业提供先进的气体传感器和力传感器。

压力传感器先驱

从1960年代起，霍尼韦尔即开始开发MEMS压力传感器，累计出货传感器芯片超40亿枚。

在中国，南京传感器工厂拥有超过10年的压力传感器生产经验，是霍尼韦尔全球最大的压力传感器产研中心，保障供应和交付。

全面的压力传感技术

霍尼韦尔的HPT系列，与久经验证的GPT通用压力传感器系列、MIPs介质隔离型压力传感系列、以及板载系列等，组成全面的压力产品线，能为客户的各类需求提供定制的解决方案。