对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案
来源：OMRON（欧姆龙）
发布时间：2025-09-28
【行业】SEMI
【设备】清洗机/CDS/SDS
【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等
应用场景
对储液罐（tank）的液位进行检查。
解决课题
部分有机溶液（氢氟酸）具有腐蚀性，无法使用透明玻璃管显示液位。
价值提案
核心产品
光纤传感器E32-D82F1（接液型）
光纤放大器E3NX-FA
■ 接液型光纤传感器可部署于储液罐（tank）内直接接触液体测量
■ 200℃的耐热性并有氟树脂涂层，耐化学性强，满足清洗槽温度和腐蚀要求，实现对有机溶液的液位检测
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