基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案
来源：OMRON（欧姆龙）
发布时间：2025-09-28
【行业】SEMI
【设备】清洗机/CDS/SDS
【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等
应用场景
通过侧窗导管显示液位的情况，并对液位进行限制。
解决课题
■ 按照生产要求，需要至少对四个液位位置（上限位置、供给停止位置、供给开始位置、下限位置）进行判定。
■ 检测液位上下限的要求不同。
价值提案
核心产品
光纤传感器E32-E32-A01/A02（卡管型）
光纤放大器E3NX-FA
■ 小型卡管式安装，快速部署四个液位位置的检测。
■ 考虑到断线时的安全，备有有液体状态（A01）和无液体状态（A02）下的入光两种类型。
免责声明
- 1、本文内容版权归属原作者、原发表出处。若版权所有方对本文的引用持有异议，请联系感算商城（service@gansuan.com），我方将及时处理。
- 2、本文的引用仅供读者交流学习使用，不涉及商业目的。
- 3、本文内容仅代表作者观点，感算商城不对内容的准确性、可靠性或完整性提供明示或暗示的保证。读者阅读本文后做出的决定或行为，是基于自主意愿和独立判断做出的，请读者明确相关结果。
- 4、如需转载本方拥有版权的文章，请联系感算商城（service@gansuan.com）注明“转载原因”。未经允许私自转载感算商城将保留追究其法律责任的权利。
