来源:Aid(艾迪电子)
发布时间:2025-07-28
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气体质量流量计及流量控制器应用的气体转换系数
由于各行业产业不断升级,对精确度的要求越来越高,因此,气体质量流量控制器MFC以及质量流量计MFM,在工业生产、科研实验等众多领域应用越来越广泛,涉及的气体类型也很多。
目前,大部分的气体质量流量控制器及质量流量计出厂时是用氮气标定的,即使是到第三方检测机构,也主要是用空气或氮气标定。实际使用的气体如果不同,则需要用气体转换系数进行换算,即使是进口品牌的流量控制器及质量流量计也是如此。尤其是混合气体,很难在出厂前实际标定,转换系数的计算就更重要了。
目前基本上所有的制造商,在出厂前都会把相关气体转换系数调好,客户直接使用即可;但如果客户在使用过程中涉及到不同气体切换时,则需要自行输入相应的气体转换系数。
气体质量流量控制器及质量流量计输出的流量值是标况下的流量值,而这里所说的标准状况,主要涉及两种标准,一个是温度0℃,气压约为1标准大气压(约为0.1MPa),另一个就是温度25℃,气压同样约为1标准大气压(约0.1MPa)这两种标准主要是温度的差别。
对于热式质量流量计及流量控制器,气体转换系数主要与标况气体的密度,定压比热,及气体的分子构成(例如He气属于单原子分子气体,而N2气则属于双原子气体)。
对于混合气体,则需要知道每种气体的占比,然后根据气体转换系数的算法进行合理计算,如果对其具体算法有兴趣可以与我们沟通。