矽翔FS8000系列气体质量流量传感器-感算商城

矽翔FS8000系列气体质量流量传感器

来源：Siargo Ltd(矽翔)

作者：-

发布时间：2025-09-04

阅读量：31

过去十多年，矽翔FS8000系列MEMS气体质量流量传感器在工业气动或气动(真空)设备、工业设备微泄漏测控、医疗设备等方面获得了广泛的应用。与传统的热式传感技术比较，MEMS技术使得热源的体积微小并具有有效的隔热腔，大大地加快了热响应，减少了信号漂移，从而使得快速响应和微小流量的测量成为可能。

FS8000系列气体质量流量传感器采用矽翔公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片制作，其特征为快响应（响应时间约1msec）、低压损和微流测控（<1sccm）的能力。线性和数字化的输出，使实际应用的测控更为便利。这个系列的产品在封装上具有很小的体积，应用更为可靠和方便。

01、性能优势

FS8000系列包含FS8001和FS8003两种型号，它们具有不同的测量范围。FS8001的测量范围为0~500sccm，对于不同的应用需求，例如气动应用，可选择具有1msec的快速模拟响应或5msec的线性模拟或数字输出方式。FS8003为0~6SLPM，适合于一些气体流量需求较大控制设备。

02、技术参数

03、应用领域

半导体设备

在半导体封装设备，例如固晶机和绑定机，有不少工艺采用气动方式，对气动的过程控制要求极高。快速测控机械装置的真空和常压状态并在二者间快速切换，以保障封测生产的可靠性和高效率。在这些过程中，采用气体快速吹扫或清洗的工艺过程也需要对气体高速和精准测控。FS8000在这些设备中有广泛的应用。

医疗设备精准供气

FS8000新型医疗设备常常需要精准及快速测控医疗气体。比如氩气刀是通过电离氩气来产生氩气等离子体。该等离子体能够导向目标组织，实现止血和组织灭活。FS8000成功地用于这一医疗设备，有效测控氩气的脉动及等离子化过程的氩气输送。

环境监测与科研实验

无论是大气采样器等环境监测设备，还是各类科研实验中的气体流量监测，常常需要准确测量因采气泵的脉动气流，FS8000 系列凭借其高精度和快速响应的特点，可有效实现对采样气样的计量准确性。而其对微小流量的测控能力，也是工业气体泄漏测控的首选传感产品。

免责声明

2、本文的引用仅供读者交流学习使用，不涉及商业目的。

3、本文内容仅代表作者观点，感算商城不对内容的准确性、可靠性或完整性提供明示或暗示的保证。读者阅读本文后做出的决定或行为，是基于自主意愿和独立判断做出的，请读者明确相关结果。

4、如需转载本方拥有版权的文章，请联系感算商城（service@gansuan.com）注明“转载原因”。未经允许私自转载感算商城将保留追究其法律责任的权利。

矽翔FS8000系列气体质量流量传感器