压力测量领域的璀璨之星：FSP1000、FSP2000与PSD1000L-感算商城

无论是采用压电还是其它测量方式，传统的微压差制作成本通常比较高。因而，很多微压差的应用受到限制。上个世纪80年代，Honeywell 率先开启了MEMS流量传感器的商业化，在某些小流量的应用范围，不仅仅是大幅降低了传统热式质量流量计的制作成本，也巧妙地将流量芯片应用于微压差的测量，因其成本低廉，极大地推进了微压差传感器的应用。
流量与压力的测量具有一定的相关性：当流体从流过一段流道时，将会产生一定的压力损耗，该损耗与流体的流速相关。因此，通过测量一段特定流道的流体流速，即可获得对应的压力损耗（压差）。而MEMS流量芯片对小管道的流体在测量和成本上具有先天的优势，由此设计的微压差传感器成为许多应用的首选，例如，暖通风量测控和个人呼吸机测控都是非常成功的案例。
这类产品的一个缺点是，因需要测量小流道中的流体流速，对于介质洁净度较差的流体会有测量精度和可靠性问题。同时，误差会受介质的组分变化的影响。另外，市面上有些产品因MEMS芯片设计，可靠性受湿度的影响较大。
因应近年来市场的需求，矽翔微机电的FSP系列微压差产品解决了当前市场产品的一些核心问题。矽翔独创的Thermal-D（注册商标）测量技术，解决了量热式技术中的部分组分相关和转换的线性问题。有别于市场上现有产品，FSP系列产品可同时输出压差和流量参数，方便客户用于旁路流量计的应用。产品也同时输出介质的温度，并有集成绝压传感器和介质监测的选项，为个人呼吸机的小型化和变介质的应用提供方便。而由此扩展的变送器，为客户的应用提供一站式的便利。矽翔芯片的设计和封装，保障了其不受湿度变化的影响。矽翔也可根据客户的需求，定制特定压差范围的高精度产品。

技术参数

FSP1000

参数

全量程范围

100~500Pa

输出方式

线性，I

工作电源

3.0~3.6 VDC

精度

±(2.0+0.8FS)%

工作温度

-5~+65℃

最大工作压力

0.2MPa

FSP2000参数

参数

响应时间

1.8ms

工作温度

-5~+65℃

最大工作压力

50kPa

工作湿度

0~100%RH（无结冰、无凝露）

工作电压

3.0~5.5VDC

输出方式

线性：I2C

PSD1000L

参数

工作电压

8~24VDC

输出方式

线性、RS485、LoRaWAN

温度范围

-5~+65℃

最大工作压力

2.0bar

工作湿度

<95，无冷凝

应用领域

FSP1000

提供线性数字化的微压差测量。主要应用为暖通（HVAC）和个人呼吸机（CPAP），可同时输出介质温度。最小可测1Pa的微压差。

FSP2000

集成微压差和绝压及介质温度传感器。主要应用为小型化个人呼吸机，节省空间和成本。也可应用于特定精准工业测控。绝压的测量范围可根据应用的需要配置。

PSD1000L

具有无线远传的微压差变送器。主要应用为医院正压病房、工业洁净室和洁净车间的测控。除标准LoRaWAN无线传送外，也可定制其它无线或数字化传输方式。

精准测量的利器

FSP1000、FSP2000和PSD1000L压力传感器各具优势，FSP1000对低压差测量灵敏，适配暖通空调和呼吸辅助系统；FSP2000在医疗呼吸机等设备中集成度高、功能强大；PSD1000L性能稳定，应用领域广泛。它们为不同行业提供了精准、可靠的压力测量解决方案，是现代科技发展不可或缺的重要传感器件。随着技术的不断进步，相信这些压力传感器将在未来发挥更大的作用，推动各行业的持续发展。

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