来源:Carlo Gavazzi(佳乐)
发布时间:2026-04-17
半导体产业作为国家科技自立自强的核心支撑,其技术突破与产能升级关乎产业链安全与高端制造竞争力。CARLO GAVAZZI深耕工业自动化领域多年,凭借精准、可靠的产品解决方案,深度融入半导体制造全流程,为行业高质量发展注入强劲动力。
今天,我们先聚焦半导体制造部分关键环节,看看瑞士佳乐自动化的产品如何在核心设备中发挥关键作用👇
扩散炉
精准控温,筑牢掺杂基础
扩散炉在半导体制造中发挥着至关重要的作用,必须严格控制不同区域的温度以及温度梯度,以确保杂质均匀扩散到硅晶片中。这些炉子还要仔细管理升温和降温速度,以防止硅片受到热应力。
RGC2A 和 RGC3A是专为三相加热器开关而设计的固态接触器。扩散炉的另一个常用产品是 RZ3A。RZ3A 切换 所有 3 极,机械设计更扁平,适合深度有限的面板。比例控制器(又称可控硅或功率控制器)可在需要精确温度的加热控制应用中提供更精细的分辨率。我们的比例控制器系列包括曲棍球型 (RM1E) 以及 1 极、2 极和 3 极 DIN 导轨安装型(RGC1P、RGC2P 和 RGC3P)。
气相沉积设备
稳定监测,保障薄膜质量
硅晶片生产中的另一个关键工艺称为气相沉积。这种工艺包括将源材料(称为前驱体)加热至蒸气状态,然后使其在硅片基底上凝结的热处理过程。 这种方法可以为硅片以及显示器和光伏阵列等光学涂层提供精确可控的薄膜涂层。气相沉积系统涉及多个阶段,每个阶段都需要精确的温度控制,以确保均匀和高质量的沉积。
瑞士佳乐拥有品种广泛的固态继电器可供选择:
带EtherCAT的智能固态继电器
RGC.P系列产品
固态接触器
RGC系列
RGC1S
固态继电器
带EtherCAT的智能固态继电器
同时,我们也提供一系列控制类(controls)产品。WM20、WM30 和 WM40可安装在任何配电板上,用于控制能耗、主要电气变量和谐波失真。 插入式模块包括 Modbus RTU、Modbus TCP/IP 等通信模块。随着对能效的日益关注,电能表越来越多地集成到半导体设备中,以实现对整个设备的能耗监控。
SPDC系列DIN导轨安装式电源具有许多独特功能,如超薄设计、集成PFC和高达96%的效率。
硅晶片分拣机
精准识别,提升分拣效率
硅晶片非常容易损坏,因此需要进行精确检测,以便在晶片传送和自动装卸过程中检测晶片的位置和存在情况。在大多数情况下,安装空间非常有限,因此任何检测传感器都必须具有灵活的安装方式,并且必须易于调整。 另一个关键特征是具有很强的抗外部干扰能力,因为外部干扰可能会导致检测错误和高昂的报废成本。
CA系列电容式传感器可用于检测印刷电路板的位置,以及半导体和太阳能电池板生产中晶圆的位置。开关电源则是为半导体设备电气面板上大多数关键元件供电的关键部分。
硅晶片清洗设备
可靠检测,守护洁净标准
硅晶片表面的微小杂质与污染物会严重影响后续工艺效果,甚至导致器件失效,因此清洗环节是半导体制造的关键“净化”步骤。
CD34... 电容式传感器设计用于检测穿过非金属容器壁的水基(导电)液体,并能自动适应各种厚度的塑料管。
开关电源可以在很宽的输入电压范围内工作,保持非常稳定的输出直流电压,确保 PLC 和人机界面等所有关键部件的安全供电。
从扩散掺杂到晶片洁净处理,CARLO GAVAZZI以精准、可靠的产品性能,护航半导体前道制造关键环节。