硅锭光学几何检测-感算商城

硅锭光学几何检测

来源：Micro-Epsilon（米铱）

发布时间：2026-01-19

激光轮廓扫描仪

scanCONTROL

用于制造半导体硅片的硅锭必须满足非常严格的标准。即使是最微小的几何尺寸偏差或者表面缺陷都会影响进一步加工过程。因此，迄今为止，质量检验通常都是人工进行的。然而，这种检查既耗时又耗力。

作为创新的检测系统制造商，德国米铱研发了一种测量系统。该系统可自动检查钢锭的表面，并可测量钢锭的边长、角度和对角线长度。这是一款非接触且无磨损的自动光学检测系统，不会对被测目标施加任何机械影响，与人工检测方法相比，具有极佳的重复性。尽管如此，只有当供应商具备相应的专业知识时，才能提供合适的光学几何检测系统。根据钢锭的加工状态、表面反光和哑光交替出现。

通常情况下，传感器的曝光时间会根据表面的反射特性自动调节每个轮廓。然而，如果表面在一条激光线内发生变化，大多数传统的扫描器都无法处理。所以该系统使用了四个 scanCONTROL 2800 定制传感器。米铱公司研发出一种技术解决方案，可为不断变化的表面提供动态曝光转换。使用该功能，可以优化和照亮任何反射不良或反光较差的区域。为了对钢锭进行高精度测量，即使是高端传感器也必须进行一些改装。传统的直线扫描仪无法测量此类物体。

对测量系统的要求：

- 反射面的测量

- 动态曝光的调节