晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案
来源：OMRON（欧姆龙）
发布时间：2025-09-28
【行业】电子
【设备】半导体晶圆清洗设备
【用途】用于检测清洗设备内部的结露和周围的漏液
应用场景
检测半导体晶圆清洗设备内部液体化学存储罐的管接头处的漏液。
解决课题
■ 客户期待在晶圆清洗设备内的液体化学存储罐的管接头处安装高灵敏度且抗腐蚀性强的泄漏检测传感器，以便在液体泄漏的初期就能及时发现并报警，避免因强酸、强碱液体泄漏对设备产生腐蚀。
■ 客户此前使用人工巡检的方法检测漏液，造成人工成本的上升且无法做到第一时间发现漏液。
价值提案
核心产品 漏液检测器 K7L
■ 漏液检测带有高度的抗化学品腐蚀能力。电极采用SUS316，绝缘薄层采用聚乙烯，提高了耐酸碱性。
■ 采用交流方式向检测带供给信号，安全不触电。
■ 将检测带缠绕在管接头处等有可能漏液的部位上检测漏液，无需通过人工巡检。
■ 从50MΩ电阻液体到普通水都能稳定检测。可设定4级检测范围，能够根据液体特性检测。
免责声明
- 1、本文内容版权归属原作者、原发表出处。若版权所有方对本文的引用持有异议，请联系感算商城（service@gansuan.com），我方将及时处理。
- 2、本文的引用仅供读者交流学习使用，不涉及商业目的。
- 3、本文内容仅代表作者观点，感算商城不对内容的准确性、可靠性或完整性提供明示或暗示的保证。读者阅读本文后做出的决定或行为，是基于自主意愿和独立判断做出的，请读者明确相关结果。
- 4、如需转载本方拥有版权的文章，请联系感算商城（service@gansuan.com）注明“转载原因”。未经允许私自转载感算商城将保留追究其法律责任的权利。
