用于半导体生产设备的精密陶瓷产品

来源：京瓷

作者：-

发布时间：2025-05-21

阅读量：2

精密陶瓷，具有高硬度、耐磨、耐腐蚀、高温稳定等众多优势。精密陶瓷部件，主要是指应用在半导体设备中的高精密复杂结构陶瓷部件，是半导体设备的关键部件，其研发生产直接影响半导体产业发展。近几年，半导体行业迅速发展，产业规模急速增大，半导体制造设备持续向精密化、复杂化演变，高精密陶瓷关键部件的技术要求也越来越高。

京瓷在创立之初专门从事精密陶瓷的研发与生产，至今六十多年，积累了丰富的经验和深厚的核心技术，产品广泛应用于半导体等领域。今天，我们将为大家介绍两种广泛应用于半导体生产设备的精密陶瓷产品。

耐等离子体材料

（有利于提升下一代蚀刻技术）

新一代蚀刻技术需要更加强劲可靠的材料，以解决等离子体腐蚀、微粒产生、金属污染等问题。京瓷提供的耐等离子体材料是新一代蚀刻技术的理想选择。

特点

耐等离子体

氧化钇

氧化钇具有卓越的抗等离子体腐蚀特性，对于力求降低颗粒污染的半导体加工设备应用而言是理想之选，因为它能降低设备零件更换频次，提高生产效率。

真空吸盘

（可根据使用条件进行各种表面加工）

精密陶瓷真空吸盘经过高精度和复杂的表面加工，可处理晶圆夹持、搬运等各种工序。

特点

高刚性
高精度
‍

京瓷一直专注于精密陶瓷领域，并根据需求场景不断完善和升级技术能力，持续优化零部件的性能、质量和精度，从而助力产品设备的升级迭代。

未来，京瓷也将继续发挥优势，不断为客户提供高质量、高精度的产品，同时也为半导体产业的蓬勃发展贡献力量。

0

0

收藏

人形机器人核心传感器技术解析，从编码器到精准运动控制

一文了解电子设备中广泛应用的“晶振”

免责声明

1、本文内容版权归属原作者、原发表出处。若版权所有方对本文的引用持有异议，请联系感算商城（service@gansuan.com），我方将及时处理。
2、本文的引用仅供读者交流学习使用，不涉及商业目的。
3、本文内容仅代表作者观点，感算商城不对内容的准确性、可靠性或完整性提供明示或暗示的保证。读者阅读本文后做出的决定或行为，是基于自主意愿和独立判断做出的，请读者明确相关结果。
4、如需转载本方拥有版权的文章，请联系感算商城（service@gansuan.com）注明“转载原因”。未经允许私自转载感算商城将保留追究其法律责任的权利。

在线客服微信咨询 0 样品清单浏览足迹有奖反馈回顶部