松下超高精度三维测量仪UA3P系列
来源：Panasonic（松下）
发布时间：2025-09-23
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超高精度三维测量仪UA3P系列
“无法被精准检测的产品是无法被完美制造出来的”UA3P通过各种细微形状测量，为纳米级精度的制造提供支持。
能够以最高0.01 μm的精度对手机，车载，安防，光通信，元宇宙等中不可或缺的非球面镜片和自由曲面镜片及其模具进行测量。操作简单，并且还支持快速向加工端反馈。
“超高精度三维测量仪 UA3P系列”
的特点和效果
各种测量仪的测量精度和适用领域
从以最大75度的倾斜角实现最高±0.01μm的超高精度测量到500mm的大型元件测量，推出齐备的产品阵容。
各机型测量区域/精度
另有仅侧面的机型（UA3P-L）在售
测量对象
左右滑动查看更多
坐标测量技术
测量仪的坐标系由基台和独立的3块参照平面（镜片）构成，通过以频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法，以0.3 nm的分辨率对XYZ各轴进行测长。由此可以减少基台的直角度和真直度的影响，实现高精度测量。
坐标轴导致的测量误差
0.05μm以内（～100 mm）
0.30μm以内（～500 mm）
顶面测量探测器/AFP
能够以超低测量力实现测量物的高精度扫描测量。
使用微型空气滑块固定触针，通过对焦用激光检测触针的动作，根据测量物的形状跟随AFP的位置，确保测量力恒定。
• 测量力：0.15～0.30 mN（15～30 mgf）
※UA3P-3000为0.10～0.20mN
• 探针：可以使用前端角30度、r=2 μm的金刚石探针
侧面测量探测器/S-AFP
将高精度检测到的探测器镜面倾斜反馈至XY基台，实现低接触力（0.3 mN）的扫描测量。
可以无变形地测量镜筒等树脂制品。
• 测量力：0.3mN（30 mgf）
• 测量精度：±0.15 μm（90°倾斜测量时）
• 测量最大角度：水平方向测量时45°～90°（相对于水平面的角度）；垂直方向测量时80°～90°（相对于水平面的角度）
软件
• 以简单的操作，实现高速、高精度的测量。
• 可以支持所有设计信息，三维补正测量物的设置误差，实现正确的形状测量。
顶侧面评估技术
可以对顶面测量数据和侧面测量数据进行合成，以侧面基准评估镜头和模具的光轴的偏心和倾斜。
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