福禄克高效标定超高纯（UHP）压力传感器解决方案
来源：福禄克公司
发布时间：2024-11-20
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超高纯（UHP）压力传感器被广泛地应用于半导体、光伏行业的特气输配送系统中，是半导体、光伏厂务供气特气柜、工艺设备配气柜中的关键零部件之一。
区别于一般的压力传感器，UHP压力传感器有以下几个比较关键的特点：
- 比较宽的量程范围需求，需要涵盖机台端25~50 psi绝压量程、气路分配箱100~250 psi绝压或复合压量程以及特气柜250 psi、3000~5000 psi绝压或复合压的应用。
- 洁净生产过程的需求，需要在全量程范围内使用高纯氮气进行标定或校准，避免污染传感器的接液部件，便于后续的洁净包装处理。
- 高精度标定需求，通常UHP压力传感器的精度指标要达到+/- 0.2/0.25 %FS，需要一套精度足够高的标定/校准系统进行线性标定。
- 低温漂补偿需求，UHP压力传感器需要更加可靠的温补以满足在经历吹扫过程时不出现零点温漂现象。
福禄克8270A模块化气体压力控制器，拥有宽范围、多量程、高精度气压控制的特性，控压范围从真空至44MPa（6600 psi），具有0.01%FS或0.007%Rdg测压精度、0.002%FS稳压精度，可同时安装多达5个测压模块，既无量程比限制、又能自动切换量程，单台8270A控制器即能满足全量程UHP压力传感器的标定或校准，助力传感器生产企业搭建低成本、高效率的柔性化传感器标定/温补系统，实现小批量、多量程按需精益生产的目标。
这里，我们以标定100、250、5000 psi三个量程的UHP压力传感器为例，只需一台8270A搭配6000 psi和300 psi两个量程的测压模块，即能标定上述三个量程UHP压力传感器，并且标定系统的精度优于对应量程的0.03%。
同时，通过8270A主机集成的电磁阀驱动器控制三路电磁阀开或闭，实现三个量程的传感器在烘箱的一次升降温过程中实现多量程混合标定。
1、标定100 psi量程，三路电磁阀均打开，8270A自动选择300 psi量程模块进行控压、稳压。
2、标定250 psi量程，上路电磁阀关闭，8270A仍旧使用300 psi量程模块进行控压、稳压。
3、标定5000 psi量程，仅下路电磁阀打开，8270A自动切换为6000 psi量程模块进行控压、稳压。
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