总投资50.6亿 全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线预计9月量产
来源：维科网传感器
发布时间：2025-07-15
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据蚌埠市广播电视台消息，作为全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线，安徽华鑫微纳集成电路有限公司8英寸晶圆生产线于今年五月份完成首批产品成功串线后，加快产品研发，预计九月底前进入量产阶段。
据了解，安徽华鑫微纳集成电路有限公司成立于2022年3月，肩负着优化安徽集成电路传感器产业布局的重要使命。公司聚焦 MEMS 晶圆代工领域，打造兼具技术前瞻性与市场适配性的柔性化制造平台，致力于让公司成为国内高品质MEMS智能传感器晶圆制造的领航者。
华鑫微纳 8 英寸 MEMS 晶圆生产线总投资达 50.6 亿元，占地 150 余亩，由芯的（上海）集成电路技术有限公司主导投资，落地于中国（蚌埠）传感谷，项目分二期建设，一期总建筑面积约75000平方米，主要包含生产厂房、动力厂房、生产研发楼、仓库等。
作为国内领先的 MEMS 晶圆代工平台，华鑫微纳打造的这条生产线具备高度灵活性与兼容性，集成了硅基 MEMS、压电 MEMS、CMOS-MEMS 单片集成及 2.5D/3D 微系统集成等先进技术，形成了研产协同的完整体系。其产品覆盖惯性传感器、压力传感器、光 MEMS 执行器、环境传感器、喷墨打印头等多元领域，规划实现每月 3 万片的 8 英寸 MEMS 晶圆制造能力，成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。
“项目目前已经完成所有设备的进场和安装，目前正在处于11款主要产品的工艺调试，预计在9月底之前会进入批量生产阶段。”华鑫微纳项目相关负责人表示，公司下一步将会在市场方面进行深入的拓展，并在产品和平台的开发上加快研发的进度，并在2026年底实现3万片产能的目标。
华鑫微纳以 “开放式、定制化 MEMS 代工平台基地” 为定位，此次生产线的投产意味着智能传感器核心部件 ——MEMS 芯片的国产化生产迈出关键一步。通过蚌埠基地的产能释放，不仅可保障产业链供应链安全，还将大幅降低国内传感器企业的生产成本，提升本土产业链的国际竞争力。
此前，中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长郭源生曾透露，目前企业累计与 50 家客户达成合作意向，意向订单总计约 21 万片，另有 3 万余片晶圆合同正在洽谈中，将有效支撑 2025 年 1 万片达产。
随着这条全自动生产线的稳步运行，蚌埠正逐步成为国内 MEMS 芯片制造的重要基地，为我国智能传感器产业在物联网、智能制造、汽车电子等战略新兴领域的应用提供强大支撑，加速国产传感器技术自主可控的进程。
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