矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）2003年成立于美国加州硅谷。矽翔公司设计和生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计，核心部件MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体流量计量和测控。近年来公司发明了热飞行时间微流测控技术、场压力传感技术和MEMS涡街流量技术，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。
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无论是采用压电还是其它测量方式，传统的微压差制作成本通常比较高。因而，很多微压差的应用受到限制。上个世纪80年代，Honeywell 率先开启了MEMS流量传感器的商业化，在某些小流量的应用范围，不仅仅是大幅降低了传统热式质量流量计的制作成本，也巧妙地将流量芯片应用于微压差的测量，因其成本低廉，极大地推进了微压差传感器的应用。
2025.09.04
在工业、医疗、环境监测、消费设备、以及实验室等众多领域，流量的测量常常有低压损同时高精度测控的要求，以保障工艺流程稳定、设备正常运行以及获取可靠数据的关键环节。一些特殊气体因不能采用实际气体标定，通过气体转换，往往有较大且非线性的误差。矽翔微机电的FS4308系列气体质量流量传感器，正是因应行业的这些需求而开发的产品。这个产品采用了公司测量和整流专利技术，有效解决了上述问题，特别是市场产品如测量麻醉气体线性度差精度不高，低压损热式质量流量测量对安装敏感等现有技术长期未能解决的问题。
2025.09.04
FS8000系列气体质量流量传感器采用矽翔公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片制作，其特征为快响应（响应时间约1msec）、低压损和微流测控（<1sccm）的能力。线性和数字化的输出，使实际应用的测控更为便利。这个系列的产品在封装上具有很小的体积，应用更为可靠和方便。
2025.09.04
