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半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案
核心产品：距离设定型光电开关 E3Z-LR■ 1级激光光源，保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。■ 激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改，方便远距离时光轴的调整。
炉管, SEMI, 光电开关, E3Z-LR
应用方案
2025-07-11
