夏罗登SCHALOD气体质量流量控制器（MFC）在晶圆清洗中的关键应用
夏罗登方案挑战：在SC1（氨水+双氧水）清洗时，需通入氮气作为保护气体，若流量波动＞1%会导致氧化层厚度不均。 夏罗登方案：采用耐腐蚀型MFC（钽金属流道+PTFE密封），耐受HF、H2O2等强腐蚀介质。动态配比技术：根据pH传感器反馈实时调节氮气/氧气比例（某客户实测配比误差＜0.5%）
晶圆清洗, 工业科技, 气体质量流量控制器, SCHALOD
应用方案
2025-09-22
晶圆代工巨变：中国大陆崛起
半导体代工行业正面临复杂的自主或外购决策和国际依赖局面。集成设备制造商 (IDM) 在本地和海外生产半导体，而无晶圆厂公司则严重依赖海外代工厂。这种依赖在美国和欧洲尤为严重，因为这些地区的过剩需求需要大量的海外产能，而这些产能主要由亚洲国家提供。
行业动态
2025-06-25
传台积电 2nm 晶圆涨价，4nm也跟着涨
全球半导体代工龙头台积电（TSMC）日前确认将上调 2nm 工艺晶圆价格，涨幅达 10%，这一决定引发行业广泛关注。据多位知情人士透露，台积电计划在未来几周内正式实施调价，其中 2nm 工艺 300mm 晶圆价格将从 3 万美元涨至 3.3 万美元。与此同时，4nm 节点价格涨幅可能高达 10%-30%，成为近年来台积电在先进制程领域最大幅度的价格调整。
行业动态
2025-05-21
