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FS1100-100F200-A

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MEMS质量流量传感器
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FS1100系列质量流量传感器采用Siargo专有的MEMS量热法与扩散率传感技术(Thermal-D®),可同时测量流体的量热和扩散特性。该型号具体配置为反向流量100 SLPM至正向流量200 SLPM,适用于空气介质,相比传统量热式传感具有更好的全动态范围线性度,并能消除相似热扩散率气体的敏感性。

核心特点/优势

  • 采用专有MEMS量热法与扩散率传感技术(Thermal-D®)
  • 在全动态范围内提供比传统量热传感更好的线性度
  • 消除具有相似热扩散率气体的敏感性
  • 配合气体转换因子使用时提高测量精度
  • 同时输出瞬时流体温度数据
  • 改善热传感方法的温度性能
温馨提示

若上述内容存在差异,请以产品手册为准;如需获取完整规格书,请直接点击下载查看。

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