鑫精诚传感器：人形机器人测力/力矩传感器技术趋势与方向
来源：鑫精诚
发布时间：2025-4-9
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面对人形机器人产业对六维力传感器和关节扭矩传感器日益增长的需求，传统手工生产方式已难以满足规模化交付需求。相较于传感器本身的技术复杂性，其自动化制造的工艺难度更为严峻。而传统的应变片技术在实现自动化生产方面面临更大挑战。
在此背景下，鑫精诚传感器基于微熔工艺的MEMS应变片技术为六维力传感器的自动化生产提供了可行的解决方案。
为此，鑫精诚公司投资建设全自动化产线集群，集成微熔工艺、微纳加工、AI视觉检测等先进工艺。全力推进自动化生产线的规划与建设。通过引入高度智能化的生产设备和精密的工艺流程，旨在实现生产效率的质的飞跃；同时，借助规模化生产的经济效应，进一步压缩单件产品的制造成本。
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- “基于微熔工艺MEMS应变片技术”的六维力传感器
- 可批量化自动生产
- 高刚性、抗过载、高寿命
- 结构解耦融合软件解耦的双重解耦技术
这种全方位的布局不仅能够确保六维力传感器在性能上满足高端需求，还能在价格上更具竞争力，从而推动其在人形机器人领域的全面普及。与此同时，自动化生产线的建成还将显著提升公司的产能上限，有效应对市场对大批量、高质量六维力传感器的迫切需求，为人形机器人产业的快速发展注入强劲动力。
针对人形机器人对力觉感知系统的严苛要求，六维力传感器和关节扭矩传感器需突破三大核心性能挑战：
1、高刚性
通过优化材料力学结构与内部应力分布，确保传感器在动态运动与载荷传递中维持极小形变量，避免机械变形对力反馈精度的干扰，为精准的平衡控制与柔顺操作提供基础保障；
2、抗过载
能有效抵御突发碰撞和误操作冲击，保护核心应变体及敏感元件在极端载荷下的功能完整性；
3、高寿命
通过玻璃微熔工艺替代传统有机粘合剂，解决了材料界面老化、环境侵蚀等问题，使传感器能够稳定应对高频关节运动产生的交变应力，保障全生命周期内的测量一致性与可靠性。
MEMS应变计的灵敏度是普通金属箔式应变计的35倍以上，因此基于MEMS技术的传感器可以做到在抗过载性能和刚性方面的指标超过常规应变片传感器的10倍以上，确保了在严苛工况下的可靠性。
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- “基于微熔工艺MEMS应变片技术”的关节扭矩传感器
- 独特的交叉载荷自补偿技术，可将交叉载荷带来的串扰误差控制在0.5%以下
- 高刚性、抗过载、高寿命
- 结构解耦融合软件解耦的双重解耦技术
此外基于玻璃微熔的工艺又避免了常规有机粘接剂的长期稳定性差的问题，大幅提高了传感器的使用寿命。
在这场由材料科学与智能制造驱动的技术革新中，鑫精诚传感器通过玻璃微熔 MEMS 应变片技术与全自动化产线的深度融合，为人形机器人的力觉感知系统提供了兼具高性能与经济性的解决方案。
这种高刚性、抗过载、长寿命的传感器技术，不仅突破了传统应变片在动态响应与环境适应性方面的局限，更通过规模化生产显著降低了核心部件成本，为机器人从工业场景向服务、医疗等领域的渗透提供了关键支撑。
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