膜厚仪应用测量之光刻胶厚度测量
光刻胶,又称光致抗蚀剂,是一种关键的耐蚀剂刻薄膜材料。它在紫外光、电子束、离子束、X 射线等的照射或辐射下,溶解度会发生变化,主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。由于光刻胶生产技术复杂、品种规格多样,在电子工业集成电路制造中,对其有着极为严格的要求,而保证光刻胶产品的厚度便是其中至关重要的一环。
应用方案
从纳米到毫米!一篇看懂膜厚仪选型技巧
在半导体、微电子、光学、显示、新能源、汽车、航空航天等行业,薄膜厚度测量都起着关键作用。如:芯片制造中的光刻胶和介电层、MEMS器件的功能薄膜、光伏电池的减反射膜、钙钛矿太阳能电池的功能层等等。
技术分享