基于叉指电极的MEMS混合传感器阵列，提升电子鼻系统的选择性
电子鼻（e-Nose）旨在以高精度实现对VOC气体的检测与分析功能。MEMS气体传感器因其尺寸小、功耗低、灵敏度高等特点，在电子鼻应用中备受关注。这些特点使得便携式、低成本气体检测设备的小型化和大规模生产成为可能。与其它MEMS气体传感器相比，基于叉指电极（IDE）的气体传感器具有多功能性、可修饰多种敏感材料，以及对不同检测机制的适应性等优势。
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技术分享
2025-07-14
