RPG100皮拉尼真空计
Datasheet V4.0
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Copyright@Feb,2024
RPG100
皮拉尼真空计
产品简介
本系列皮拉尼真空计可以从大气压测量到
中高真空。该皮拉尼变送器具有良好的精
度、宽量程范围、优越的长期稳定性及使用
寿命，并且成本低廉，具有高的性价比。
本系列皮拉尼真空计是基于MEMS Pirani
芯片设计而成。芯片采用微细加工工艺制
作而成，具有优异的精确度和一致性，同时
集成了测温电路，具有良好的灵敏度和重
复性。相较于灯丝原理的皮拉尼真空规，更
能耐受污染物。
本系列皮拉尼真空计可通过FCC-68/RJ45
端子，对外提供RS485数字信号和模拟信号
。该信号能够匹配其他厂商的真空规，可以
做到“即插即用” 进行替换，无需调整系统
，也不必改变硬件接口，可直接获得此前习
惯的输出曲线。
本系列皮拉尼真空计还可以根据客户的应
用需求，对外输出其他标准的工业信号。
特性
⚫ 量程：5x10
-4
mbar~1000mbar
⚫ 良好的精度和重复性
⚫ 可调整输出曲线，即插即用
⚫ 由于工作温度低而更耐受污染
⚫ 具备温度补偿
⚫ 高性价比
应用
⚫ 冻干机
⚫ 质谱仪
⚫ 蒸馏设备
⚫ 低温储气瓶、储气罐
⚫ 热处理/真空炉
⚫ 采样室真空系统
RPG100皮拉尼真空计
Datasheet V4.0
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目录
产品简介 ................................................................................................................................................. 1
特性 ........................................................................................................................................................ 1
应用 ........................................................................................................................................................ 1
1.电气特性............................................................................................................................................... 3
2.机械尺寸............................................................................................................................................... 3
3.引脚定义............................................................................................................................................... 4
4.数字信号输出 ....................................................................................................................................... 4
4.1. RS485 物理接口 ........................................................................................................................... 4
4.2. 物理层通信方式........................................................................................................................... 4
4.3. 应用层命令类型及格式................................................................................................................ 4
4.4. 数据寄存器列表（功能码 03H）................................................................................................ 6
4.5. 通讯实例...................................................................................................................................... 6
5.模拟信号输出 ....................................................................................................................................... 6
5.1. 默认输出电压及公式 ................................................................................................................... 6
5.2. 可选输出电压及公式 ................................................................................................................... 6
6.校正需知............................................................................................................................................... 7
6.1. 零点校正...................................................................................................................................... 7
6.2. 满量程校正 .................................................................................................................................. 7
7.指示灯状态说明 .................................................................................................................................... 7
8.订货信息............................................................................................................................................... 8
9.修订历史............................................................................................................................................... 8
RPG100皮拉尼真空计
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1.电气特性
（未指定特别说明时：VDD=24V，测试环境温度25℃）
Parameter
Min.
Typ.
Max.
Units
测量原理
皮拉尼原理
量程
5x10
-4
1000
mbar
输出电压
1.9
10
V
输出曲线
对数曲线，多种对应关系
精度
±50%
mbar
±15%
mbar
±50%
mbar
分辨率
1%
Reading
重复性
2%
Reading
响应时间
0.1
s
供电电压
9
24
30
V
工作电流
30
mA
识别电阻
27
KΩ
工作温度
0
40
℃
存储温度
-20
65
℃
过载压力
6
bar
探头材料
304不锈钢
2.机械尺寸