该文档介绍了OMRON的D6F系列MEMS流量传感器，包括D6F-10A7D-000-0、D6F-20A7D-000-0、D6F-50A7D-000-0和D6F-70AB71D-000-0型号。这些传感器具有数字补偿功能，提供高精度（±3% RD）和快速响应时间（90 ms max.），适用于空气流量测量，流量范围从0到70 L/min。文档详细描述了传感器的技术特性、性能参数、连接方式、输出特性以及尺寸等信息。