D6F-20A5-000数据手册

该文档介绍了欧姆龙D6F系列MEMS流量传感器的技术特点、产品选型和应用指南。D6F系列传感器采用MEMS技术，能够精确测量微小气流，甚至能检测蝴蝶翅膀的扇动。文档详细描述了传感器的测量原理、产品特性、型号选择和应用示例，包括燃烧控制、气体检测、暖通空调和冷却效率监测等领域。