D6F-02L2-000数据手册

该文档介绍了OMRON的D6F系列MEMS流量传感器，包括D6F-01N2-000、D6F-05N2-000和D6F-02L2-000三个型号。这些传感器具有高精度（±3% FS）、紧凑设计，能够测量低流量，适用于天然气和LP气体的流量测量。文档详细列出了各型号的流量范围、输出电压特性、电气连接、尺寸等关键参数。